특허법원 2006허3496

특허법원 2007. 7. 13. 선고 2006허3496 판결 [권리범위확인(특)] - 상고기각

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특허법 제127조 제1호는 ‘특허가 물건의 발명인 경우에는 그 물건의 생산에만 사용하는 물건을 생산·양도·대여 또는 수입하거나 그 물건의 양도 또는 대여의 청약을 하는 행위’를 업으로서 하는 경우에는 특허권 또는 전용실시권을 침해한 것으로 본다고 규정하고 있는바, 그 취지는 특허발명의 구성요건을 충족하지 않는 물건을 생산·양도하는 등의 행위는 특허권을 침해하지 않는 것이 원칙이지만, 위 물건을 사용함으로써 특허발명의 구성요건을 충족하여 특허권의 침해에 이르게 될 고도의 개연성이 있는 경우에는 특허권이 부당하게 확장되지 않는 범위 내에서 장래의 특허권의 침해에 대한 권리 구제의 실효성을 높이기 위하여 그 전 단계에 있는 위 생산·양도 등의 행위를 특허권의 침해로 간주하여 직접침해와 같은 취급을 받도록 한 것이어서, 위 규정에서 특허발명 물건의 ‘생산’이란 특허발명의 구성요건을 충족하지 않은 물건을 받은 자가 이를 사용하여 특허발명의 구성요건을 충족하는 물건을 만들어 내는 모든 의식적 행위를 의미한다고 보아야 하므로, 반드시 공업적 생산에 한하지 않고 가공, 조립, 수리 등의 행위도 포함된다고 할 것이고, 한편 특허권의 간접침해가 성립하는 물건의 생산·양도 등 행위는 그 물건이 특허발명 물건의 생산‘에만’ 사용되는 것이어야 하므로,그 물건을 사용하는 한 반드시 특허발명 물건의 생산에 도달하여야 하고, 그 물건에 특허발명 물건의 생산 이외에 사용될 수 있는 다른 용도가 있는 경우에는 그 물건을 생산하는 등의 행위를 하더라도 간접침해가 성립하지 않는바, 여기에서 ‘다른 용도’는 위 규정에 취지에 비추어 볼 때 상업적 또는 경제적으로 실용성 있는 용도로서 사회 통념상 통용되거나 승인될 수 있는 경우에 한하여 인정되어야 하고, 단순히 이론적, 실험적 또는 일시적인 사용 가능성이 있는 정도에 불과한 경우에는 간접침해를 부정할 만한 ‘다른 용도’가 있다고 할 수 없는바, 제1항 발명의 구성은 ‘외부수단에 의하여 형성되어 연마패드를 사용하는 동안 보유되고 연마 슬러리를 연마패드의 전체 표면에 걸쳐 이동시키는 대형유동채널 및 소형유동채널’의 구성요소와 ‘슬러리 입자를 흡착하거나 이동시키는 고유한 성능을 지니지 않는 균일한 고체 중합체 시트’의 구성요소를 포함하고 있는 데 비하여 확인대상발명은 ‘균일한 폴리우레탄 재질의 벌크 시트의 표면상에 위로 개방된 원형 홈 형태의 마이크로 홀’과 ‘연마 슬러리를 연마패드 전체 표면에 걸쳐 이동시키는 채널 형식으로 구성되어 있는 그루브’를 포함한 CMP 공정에 사용되는 연마패드이므로, 구성요소로서 ‘균질한 재질의 벌크 시트’, ‘마이크로 홀’ 및 ‘그루브’를 가지고 있어, 양 발명의 구성을 대비하면, 확인대상발명의 그루브는 연마 슬러리를 연마패드의 전체 표면에 걸쳐 이동시키고, 연마패드의 사용 중에 지속적으로 보유되며, 연마패드의 시트 고유의 성질이 아니라 외부수단에 의하여 형성되는 점에서 제1항 발명의 대형유동채널과 일치하고, 또한 연마패드의 시트는 양 발명에서 모두 균질한 고체 중합체로서 연마 슬러리 입자를 흡착하거나 이동시키는 고유한 성능을 지니지 않는 점에서 일치하지만, 제1항 발명의 소형유동채널은 확인대상발명에 구비되어 있지 않으며, 이에 대하여 원고는, 확인대상발명은 종래 불균질한 중합체 재료의 연마패드에서 불규칙적으로 분포하던 기공 등 내부구조가 연마율의 가변성의 원인이 되는 반면 연마 슬러리의 저장, 분배 및 공급 역할을 함으로써 연마율 자체를 부여하는 수단이었다는 점에 착안하여 도입하였는바, 마이크로 홀을 포함함으로써 종래 불균질한 중합체 재료 내부구조의 연마율 활성을 위한 필수적 기능을 그대로 유지하는 점에서 불균질한 중합체 재료의 연마패드와 기술적 사상이 공통되는 반면, 불균질한 중합체로부터 단순히 불규칙한 내부구조를 제거한 것에 불과한 이 사건 특허발명과 완전히 다른 기술적 사상을 가지고 있다고 주장하나, 이 사건 특허발명 및 확인대상발명에서 연마패드의 균질성은 연마패드가 재질에 있어서 슬러리 입자의 흡착 및 이동을 가능하게 하는 고유한 성능을 지니고 있는지 여부에 의하여 결정되므로, 확인대상발명과 같이 자체로 균질한 중합체 패드의 표면에 외부수단에 의하여 마이크로 홀을 부가한 경우 중합체 패드가 비균질성을 갖는 것으로 된다고 볼 수 없으니, 중합체 패드의 균질성에 있어서 확인대상발명과 제1항 발명이 차이가 있다는 취지로 보이는 원고의 위 주장은 이유 없고, 위와 같이 확인대상발명은 제1항 발명의 구성요소 중 ‘균질한 중합체 패드’ 및 대형유동채널를 포함하는 점에서 일치하고 제1항 발명의 소형유동채널의 구성요소를 가지고 있지 않으나, 확인대상발명 물건의 사용으로 제1항 발명의 소형유동채널의 구성요소가 갖추어지는 경우에는 특허법 제127조 제1호에 정한 특허발명 물건의 ‘생산’에 해당하게 되므로, 확인대상발명 물건 사용으로 제1항 발명에서 의미하는 소형유동채널이 형성되는지에 관하여 보면, 확인대상발명 물건의 사용시 브레이크 인 및 컨디셔닝 과정에서 형성되는 줄무늬 홈은 폭과 길이에 있어서 대부분 제1항 발명의 상한치와 하한치의 범위에 속하는 점, 줄무늬 홈이 마이크로 홀 사이에 평균 1개 내지 3개 존재하고 연마패드 전체적으로는 약 60만개에서 약 180만개에 이르러 적지 않은 수인 점, 컨디셔닝은 연마패드에서 연마 잔류물을 제거하는 것 외에 연마패드의 표면 거칠기를 유지하고 슬러리의 분배를 촉진하는 것을 주된 목적으로 하는데, 다이아몬드 컨디셔너로 연마패드를 문지르는 경우 다양한 형태를 가진 다수의 홈이 형성될 수밖에 없고 그러한 홈은 연마패드의 표면 거칠기를 형성하는 한편 슬러리 입자의 이동 통로로 작용함으로써 연마패드의 기계적, 화학적 연마활성에 기여할 것으로 보이는 점 등을 종합하면, 위 줄무늬 홈들은 외부 수단에 의하여 형성되는 것으로서 입자를 함유하는 연마 슬러리를 연마패드의 전체 표면에 걸쳐 이동시키는 기능을 갖는다고 인정되므로 제1항 발명의 소형유동채널과 동일하다고 할 것이고, 위 줄무늬 홈들을 단순히 컨디셔닝 과정에서 의도하지 않게 우발적으로 생긴 것이라고 볼 수 없어, 이 사건 심결 당시를 기준으로 확인대상발명 물건이 그 용법에 따라 통상적 방법으로 사용하는 경우에는 제1항 발명의 소형유동채널이 형성되어 제1항 발명의 구성요건을 충족한다고 할 것이므로, 확인대상발명 물건은 제1항 발명 물건의 생산에 사용되는 것에 해당하고, 위와 같이 확인대상발명 물건이 제1항 발명 물건의 생산에 사용되는 것에 해당하므로, 확인대상발명 물건이 그 사용으로 제1항 발명 물건의 생산에 이르지 않는 다른 용도가 존재하는지에 관하여 보면, 확인대상발명에 의하여 원고가 생산한 연마패드는 현재까지 삼성전자에서만 사용하고 있고 이 경우 다이아몬드 컨디셔너에 의하여 브레이크 인 및 컨디셔닝 공정이 반드시 이루어지고 있는 점과, 갑 17호증의 기재에 변론 전체의 취지를 종합하여 인정되는 사실, 즉 CMP 공정에 있어서 브레이크 인 공정은 중요성은 떨어졌지만 여전히 필요성이 있다고 인식되고 있고, 90년대 중반 이후 다아이몬드 컨디셔너가 개발된 이후 모든 CMP 공정에서 컨디셔닝시 위와 같은 컨디셔너를 사용할 정도로 그 우수성이 인정되고 있는 점 등에 비추어 보면, 다이아몬드 컨디셔너를 사용하지 않거나 컨디셔닝 공정을 수행하지 않고 확인대상발명 물건을 사용하는 것과 같이 제1항 발명의 소형유동채널을 형성함이 없이 확인대상발명 물건을 사용할 수 있는 것으로 사회 통념상 통용 또는 승인될 수 있는 실용성 있는 방식은 존재하지 않는 것으로 보이고, 이에 대하여 원고는, 컨디셔닝이 패드 표면에 미치는 영향 내지 변화의 유무나 정도는 컨디셔너의 종류, 패드의 경도, 사용하는 슬러리의 종류 및 슬러리에 포함된 연마입자의 종류, 컨디셔너에 의하여 패드에 가해지는 압력의 정도 등 여러 가지 요소에 따라 다르므로, 반도체 생산업체들이 각기 다른 조건으로 확인대상발명 제품을 사용하는 모든 경우에 소형유동채널이 형성된다고 볼 수 없다고 주장하나, 위와 같이 각기 다른 조건을 설정하여 소형유동채널을 형성하지 않는 방법으로 사용하는 것은 단순한 가능성에 불과하고, 그것만으로는 상업적 또는 경제적으로 실용성 있는 것으로 사회 통념상 통용되거나 승인될 수 있는 사용이라고 보기 어려우므로, 원고의 위 주장은 받아들일 수 없어, 확인대상발명 물건은 제1항 발명 물건의 생산에만 사용되는 것이라고 인정되므로, 확인대상발명 물건을 생산하는 것은 제1항 발명의 물건의 생산에만 사용하는 물건을 생산하는 행위에 해당하고, 원고는 연마패드를 생산하여 유상 판매함으로써 이를 업으로서 하였음이 분명하므로, 확인대상발명 물건의 생산은 제1항 발명의 간접침해에 해당한다.

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